塵埃粒子檢測系統

　　在設置實時粒子計數系統時，應當考慮 A.4.2 到 A.4.6 中描述的項目。

　　實時粒子計數系統的配置應當參考以下幾點因素：

　　— 塵埃粒子收集效率

　　— 對于選定粒徑的適應性

　　— 便于維護，校驗和維修

　　注釋 1 這些考量可能會影響是否選擇多個塵埃粒子計數器還是選擇一個幾個計數器配有多個取樣管路的系統。

　　注釋 2 對于檢測粒徑大于 5 微米的粒子，選擇多取樣管的單一計數器系統是不適宜的。

　　取樣氣體流速和體積。

　　每個空氣樣品的頻率和持續時間(由取樣率決定)

　　取樣探頭的配置和方向應當與空氣流向有關(例如，等速取樣管或非等速取樣管)

　　注釋 在非單向流的環境中，將取樣探頭直接置于高效空氣過濾器(HEPA)下是不合適的，因為該點不能夠代表潔凈室或潔凈區的整體水平，并且可能會阻止其探測到污染事件的發生。

　　取樣系統對工藝或環境的潛在負面影響(例如在較小的空間內，取樣時對其環境的影響)